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亮點:本實驗室設備通過非相處、電子光學玻璃相移涉及側量辦法,側量時不受傷產品的從表皮能,能如何快速精確量測多種各樣的產品的從表皮能宏觀形貌的有立體感幾何體商標,并了解測算出側量但是。采比較適用于側量多種各樣的量塊、電子光學玻璃所需要的零部件從表皮能的變料厚;表尺、度盤的刻線廣度;光柵的槽形空間型式類型電鍍件料厚和電鍍件分界處的空間型式類型形貌;磁(光)盤、磁頭從表皮能空間型式類型側量;硅片從表皮能變料厚基本上幾何體商標空間型式類型側量之類。
基于議器測定高精高,包括非碰到和二維測定的作用,并用到算起機操作和高速分析一下、算起測定效果,本議器常用人群于地方黨委測試圖片、計量檢定校準論述的標準礦山設備標準計量檢定校準室,精密生產制作生產制作裝配車間,也常用人群于高的本科院校和地理學論述的標準等。
最主要技木參數值
外面微觀世界不平衡深度的衡量超范圍
在連著從表面上,緊鄰二象素之間沒大于等于1 / 4 可見光波長的角度突變率時:1000 一1nm
鄰近二象素當中富含以上1 / 4 光波波長的高變化時:130 一1nm
精確測量的重新性:δRa ≤0.5nm
物鏡系數:40X
檢測值鉆孔大小:Φ 65
工作任務距離:0.5mm
測試儀器視場 目視化管理: Φ0.25mm
攝象: 0.13×0.13mm
設備調小陪數 目視化管理: 500×
攝象(計算方法機手機屏幕檢查)一2500×
發收器檢測列陣:1000X1000
象素尺寸規格:5.2×5.2µm
估測時長監測(掃錨)時長:1S
實驗儀器準則鏡 反射層率(高): ~50 %
射線率(低): ~4 %
照明設備燈源:熒光燈6V 5W
綠干預濾光片光譜:λ≒530nm
半總寬λ≒10nm
主體視顯微鏡升程:110 mm
上班臺升程:5 mm
X 、丫領域電信條件: ~10 mm
工做臺補償器運功比率:360°
操作臺頃斜位置:±6°
算出(chu)機(ji)機(ji)系統(tong):P4 , 2 .8G 綜(zong)上(shang)所述(shu),內(nei)存1G綜(zong)上(shang)所述(shu)17寸純平屏幕上(shang)液晶(jing)顯示器(qi)